氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器校正所需設(shè)備、基本原理和基本步驟 

一、校正所需設(shè)備

1、100級潔凈房或潔凈臺(tái)

2、一臺(tái)用于作對比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器

3、各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子

4、*產(chǎn)生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類似裝置

5、標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器

6、其它普通電器

二、校正的基本原理

標(biāo)準(zhǔn)粒子通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時(shí)，將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對取樣管進(jìn)行抽樣測試，并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nèi)，認(rèn)為合格。如果不同型號的粒子計(jì)數(shù)器，一*要弄清楚其流速，取樣時(shí)間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。

三.、校正的基本步驟：

現(xiàn)假設(shè)對一臺(tái)常見的Royco HH200作校正

1、首先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Royco HH200則為0.1CFM。

2、將潔凈臺(tái)開機(jī)，工作半小時(shí)，其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預(yù)熱半小時(shí)。

3、準(zhǔn)備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

4、將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

5、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)

（1）取樣時(shí)間都設(shè)置為00：01：00

（2）取樣次數(shù)都設(shè)置03

（3）取樣模式都設(shè)置為Auto

（4）間隔時(shí)間都設(shè)置為00：00：05

（5）讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative

注：以上設(shè)置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結(jié)果會(huì)是Royco HH200的10倍。

6、打開255電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后，保持其工作狀態(tài)。

7、讓Royco 323和Royco HH200同時(shí)工作，看其三次的平均結(jié)果，若在20%以內(nèi)，視為合格。

8、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測試。

9、以上校正只是對比校正，尚*用萬用表對其基本參數(shù)測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。